第一百八十五章 光刻機終成(第2/2頁)

閉的恆溫恆溼無塵的千平大房間內，用了一天的時間。

最後完成了十五套165塊5奈米光刻機所用的鏡片，也就是布拉格反射器，當然也出了五套廢品。

這套加工手法與超級福崗的光感器加工工藝差不多。

而2奈米以後的超級浸潤式裝置與5奈米的不一樣，5奈米是採用na=033的曝光裝置。

2奈米需要高解析度的曝光裝置，更高的na化，即na=055（na是數值孔徑，與最大的臨界角度有關）。

張衝志又利用一晚上的時間生產了十二套2奈米反射鏡片，不過合格的只有七套，廢了五套，對於一般人來說，可能合格率達不到百分之一。

na=055的曝光裝置，蘭斯麥已有設計，不過技術要求太高，需要幾年後才能生產出來，張衝志只是將它最佳化了一下，直接拿來用了，還美其名曰先用先得。

第二天，張衝志就先拿了兩套報廢的鏡片，讓攻關小組進行鍍鉬矽膜實驗，測試能夠達到的效果。

這種膜經過改良後，真將光能的吸吸率降低了10，讓攻關小組一陣歡騰，因為這可是與獎金掛勾的。

，！

利用兩天時間將15套5奈米鏡片鍍好膜，又用一天時間將7套2奈米光刻機用鏡片也鍍好膜，就開始了超浸潤裝置的全機體制造。

張衝志邊製作邊指導說解，這些人是他培養的高階光刻機裝配人員，為以後大批次生產高階光刻機做準備，當然好讓自己偷懶！

他自己動手裝配了一套5奈米光刻機，一套2奈米光刻機，第三套就交給工作人員裝配去了，他在旁邊指導。

只要鏡片不毀，其它各種角度的微調讓裝配人員去摸索吧！

時間又過去了三天，8月14日，張衝志帶領光刻機工作團隊進行最後的安裝除錯，所有裝置都檢查了一遍，各部門都報告沒有問題。

張衝志讓人開啟電源，一盞盞指示燈亮起，主控計算機開始檢索，計算機裝載鴻盛天機自動控制系統，所有頁面都是玄語，讓人一看就明白，當然是學玄語的人。

計算機檢測完成，發出了讓所有人都高興的“滴”的一聲，真是聲音清晰響亮，是天籟之音。

接下來就是進行一項項測試；雙工作臺、測量臺、曝光臺等運轉正常，極紫外鐳射器發光正常，超浸潤系統工作正常。

光束矯正器工作正常，光束形狀設定正常，掩膜臺工作正常，物鏡工作正常……

13個分項，數萬個零件，重達五百噸的工業明珠執行正常！

接著開始整體空載執行，正常後開始正式加工，也叫載物執行。

就見一張18英寸，直徑450的單晶矽矽圓被放在了雙工作臺上，接著開始矽片表面清洗、烘乾、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、鐳射刻蝕等工序，這個過程需經過多次。

一張越複雜的晶片，它的線路層數越多，越需要精密複雜，越繁鎖的曝光控制過程。

當一張450毫米直徑的晶圓上佈滿了密密規則的晶片，終於出現在眾人的手上時，許多人都喜極而泣。

張衝志的眼中也貯滿淚花，終於，終於，夏盛麒麟公司生產出了高精度的超浸潤光刻機，軒轅無高階“晶片”的歷史一去不復返了！

尹總和餘向東，王守柱、王媛四人帶著兩張密佈晶片的矽圓芯盤，直奔京都而去。

張衝志堅決不去，太麻煩了！

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