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0。35微米工藝研發出來了，國外也早就用上0。25微米的技術了。何況微電子中心到現在連0。5微米的技術都沒有掌握，談何0。35微米工藝的研發？科學發展是嚴謹的，別想一口吃成個胖子。”

葉德成不服氣的說道：“那泛翰研究院不也是一個月，就完成了0。8微米工藝向0。5微米的改進？私人企業的研究院能做到，我們中科院的機構會做不到？”

“那怎麼一樣，你根本不知道，泛翰研究院在0。8微米線上用了……”

就在葉德成期待的過程中，笑扉扉說到一半，突然剎住了嘴。她尷尬的露出貝齒一笑，搖頭說道：“具體的技術不能說，我是簽了保密協議的。”

“嘿！”葉德成差點氣的一口氣沒喘上來，聽到最重要的地方，竟然不說了。這對科研工作者來說，可真是比殺了他還要難受了。

看著葉德成抓耳撓腮的樣子，旁邊王守武老先生的眼睛也亮了起來，就連坐在辦公桌後面的大領導身體也開始微微前傾。

周碩微微一笑，接過笑扉扉的話頭道：“其實也沒什麼，還是我說吧。我們泛翰研究院在0。8微米工藝的光刻機上，使用了沉浸式技術。使用純水做折射，降低了蝕刻光的波長。”

第二百八十一章坦白

“沉浸式？”科委大領導對光刻機研究不深，一時還沒反應過來。

“純水！”王老則不同，只聽了這一段話，立刻就明白了這裡面的技術關鍵。

“等等，也就是說，你們泛翰研究院在精密製造上面，並沒有什麼突破了？”然而終究還是葉德成對此事最為上心，一下就抓住了問題的關鍵。

透過一個新的子系統實現的技術升級，和透過提高精密製造能力實現的技術升級，雖然結果上並沒有什麼不同，但對於微電子中心來說意義可就全然不同了！一直以來微電子中心之所以承受如此大的壓力，不就是因為泛翰集團只用了一個月時間，就做到了微電子中心兩三年才實現的目標嗎？

但任何新技術，剛開始取得進步總是很容易的。哪怕是傳統的精密製造，晶片工藝從2微米進步到1。2微米，三年時間便足足縮小了800奈米的線寬。但當晶片製造技術的工藝，下降到100奈米以下的級別之後，幾十、十幾奈米的進步，往往就需要一兩年時間的努力。而這些進步需要投入的人力、物力、精力，卻更是幾十、上百倍於1。2微米工藝的時代。

周碩坦誠的說道：“沒錯，泛翰研究院雖然有奈米光柵技術專案組，但目前還沒有任何進展。沉浸式光刻機技術只對光源、光刻膠和鏡頭處理有一些要求，正適合我們在微電子中心0。8微米技術的基礎上，進行改進。”

葉德成這段時間裡受到的壓力可是絕對不小。想想堂堂中科院國家級的研究機構，竟然還不如一個民間私企研究院。誰還能吃得下飯、睡得著覺？

如今聽聞泛翰研究院的光刻機技術，並非是整體性提高。而是透過一種巧妙的子系統設計。實現的“假”0。5微米工藝。他不由得開懷大笑道：“哈哈，原來是這樣。我就說你們一個私企研究院，怎麼可能比我們微電子中心，做出更好的成績來？說到底，不過是取巧罷了。”

“老葉，你的科學素養呢？”王老只是輕輕咳嗽了一聲，立刻就打掉了葉德成的囂張氣焰。

“在科學技術上，能取巧才是本事。沒有取巧的心，一味蠻幹能追上國際水平？”王老教訓了葉德成一句。轉過頭來滿意的看向周碩道：“小朋友你很不錯啊，就這麼把這裡的竅門告訴我們，不怕中科院學了去？”

周碩歪頭笑了笑，渾不在意的說道：“就是耐水的光刻膠配方和光源配置方案，以及一整套光刻機的改造技術，我也可以無償的獻給國家。”